FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)

FS-Pro 釆用工業(yè)通用的 PXI 模塊化硬件架構(gòu)，系統(tǒng)擴(kuò)展性強(qiáng)， 還支持多通道并行測試，可進(jìn)一步提升測試效率。系統(tǒng)內(nèi)置專業(yè)測試軟件 LabExpress 為用戶提供了豐富的測試預(yù)設(shè)和強(qiáng)大的測試功能，可實(shí)現(xiàn)非常友好的用戶即插即用體驗(yàn)。

FS-Pro 可廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED 材料、二維材料器 件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件測試等。

基于在產(chǎn)線測試與科研應(yīng)用方面的優(yōu)異表現(xiàn)，F(xiàn)S-Pro 不僅被眾 多芯片設(shè)計公司和代工廠、IDM 公司釆用，其全面的測試能力更在科研學(xué)術(shù)界受到了廣泛關(guān)注和認(rèn)可，目前已被數(shù)十所國內(nèi)外高校及科學(xué)研究機(jī)構(gòu)所選用。

應(yīng)用范圍：

被半導(dǎo)體工業(yè)界和眾多知名大學(xué)及科研機(jī)構(gòu)釆用作為標(biāo)準(zhǔn)測試儀器

集成功能：

高速高精度 IV/CV測試能力

脈沖式 IV測試能力

任意線性波形發(fā)生與測量能力

高速時域信號釆集能力

與 9812 對準(zhǔn)的低頻噪聲測試能力

使用方式：

通過內(nèi)置專業(yè)軟件 LabExpress 的豐富功能實(shí)現(xiàn)測試

操作簡單靈活，無需編程即可實(shí)現(xiàn)自由的波形發(fā)生或電壓同步與跟隨

系統(tǒng)架構(gòu)：

PXI標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱，可擴(kuò)展架構(gòu),支持通過多機(jī)箱擴(kuò)展SMU卡數(shù)量

支持并行測試：

內(nèi)置功能強(qiáng)大的測試算法

支持多通道并行測試

成倍提升測試效率

硬件規(guī)格：

寬量程：200V 電壓，1A 直流電流

高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度

噪聲測試帶寬：高精度最高 100kHz，超低頻最高 40Hz

噪聲測試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）

內(nèi)置脈沖測試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50us 脈寬

內(nèi)置 CV測試：200V/10kHz，最低可測至 20fF

外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）

                              40V/10MHz（高帶寬型）

高速時域信號采集：最小采樣時間 < 1us，10 萬點(diǎn)數(shù)據(jù)

噪聲測試最小阻抗：500Ω

噪聲測試分辨能力：最低 2e-28A2/Hz

噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz

高精度快速波形發(fā)生與測量套件 ：2 通道，SMA 接口

                                                       快速 IV 測試：±10V 電壓，最大 10mA 電流

                                                       SMU 直通：±25V 電壓輸入，最大 100mA 電流

                                                       100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達(dá) 130ns

軟件功能：